
該系統簡化了自動化環境中工業顯微鏡的對焦過程
全球創新的定制化光電解決方案技術領導者埃賽力達科技有限公司(Excelitas Technologies® Corp.)通過增加內置的自動對焦組件來擴展其模塊化高性能Qioptiq mag.x system 125光學系統。該自動對焦功能創造了自動化工業顯微鏡系統,可用于顯示器、印制電路板(PCB)、OLED/TFT顯示屏、晶圓和玻璃檢測,以及機器視覺、半導體和質量控制行業中高精度、非接觸式測量應用。
mag.x system 125專為與大型傳感器(對角線高達57mm)開發,可在大型物場上實現亞微米級分辨率。其高數值孔徑鏡頭具有超大出射光瞳,可實現無與倫比的光學性能。
mag.x system 125集成的新的模塊化自動對焦解決方案簡化了自動化環境中的對焦過程。兩個執行器可在幾分之一秒內實現高精度對焦。AF基座單元將自動對焦傳感器的激光耦合到光路中。該自動對焦傳感器和執行器組成一個閉環系統,可確保在目標平面上實現最佳對焦。由于不需要拼接縫合,因此可以使用高分辨率傳感器來顯著縮短操作時間,同時不會影響檢查系統的分辨率。
Excelitas應用工程師Ina Neumann表示:“使用超高分辨率顯微鏡時,精確對焦至關重要。我們的mag.x system 125系統集成的新的自動對焦功能,可在自動化環境下的連續工作流程中提供所需的精度,同時還具有高度的細節準確性。該增強功能是對mag.x system 125產品線功能的成功擴展,我們很榮幸能為客戶提供這一功能。”
Excelitas正在計劃舉辦有關正確應用mag.x system 125及其新的自動對焦功能的網絡研討會。請關注Excelitas網站的活動頁面https://bit.ly/3cl821f了解最新情況。
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